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美國API*激光干涉儀美國API*激(ji)光(guang)(guang)干涉(she)儀(yi)(yi) 激(ji)光(guang)(guang)具(ju)有(you)(you)高(gao)強度(du)、高(gao)度(du)方向(xiang)性(xing)(xing)、空間同調(diao)性(xing)(xing)、窄(zhai)帶寬和高(gao)度(du)單色(se)性(xing)(xing)等(deng)優點。目前常用來測(ce)量長度(du)的干涉(she)儀(yi)(yi)，主要是以邁(mai)克爾(er)遜干涉(she)儀(yi)(yi)為主，并(bing)以穩(wen)頻(pin)氦氖激(ji)光(guang)(guang)為光(guang)(guang)源，構成一個具(ju)有(you)(you)干涉(she)作(zuo)(zuo)(zuo)用的測(ce)量系統。激(ji)光(guang)(guang)干涉(she)儀(yi)(yi)可配合各種折(zhe)射鏡、反射鏡等(deng)來作(zuo)(zuo)(zuo)線性(xing)(xing)位置(zhi)、速度(du)、角度(du)、真(zhen)(zhen)平(ping)度(du)、真(zhen)(zhen)直(zhi)(zhi)度(du)、平(ping)行(xing)度(du)和垂直(zhi)(zhi)度(du)等(deng)測(ce)量工作(zuo)(zuo)(zuo)，并(bing)可作(zuo)(zuo)(zuo)為精密工具(ju)機或測(ce)量儀(yi)(yi)器(qi)的校正工作(zuo)(zuo)(zuo)。
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